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超纯水技术在半导体行业的应用

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浏览:次 2017-06-07 10:01:11

超纯水技术在半导体行业的应用 超纯水技术在半导体行业的应用 随着超纯水技术在半导体行业的利用口益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也愈来愈高。半导体行业是1个高能耗的行业。在半导体产品制造进程中,由于生产装备的精密性和生产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,特别对作为半导体行业血脉的超纯水系统更是高之又高。1超纯水制造工艺半导体行业超纯水制造工艺可以概述为4个部份,分别为预处理部份、RO部份、电去离子部份和抛光混床部份。在有些半导体厂中,也有用“阴床10阳床”代替电去离子装置的,主要根据原水水质和产水水质对弱电解质的要求而定,这里主要探讨经常使用的电去离子工艺。1.1预处理部份预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使SD≤4;去除游离氯等氧化性物资;去除部份有机物;下降LSI 随着超纯水技术在半导体行业的利用口益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也愈来愈高。半导体行业是1个高能耗的行业。在半导体产品制造进程中,由于生产装备的精密性和生产工艺的复杂性,对其配套设冷热试验轴承寿命试验机机施提出了很高的要求,特别对作为半导体行业血脉的超纯水系统更是高之又高。
1超纯水制造工艺
半导体行业超纯水制造工艺可以概述为4个部份,分别为预处理部份、RO部份、电去离子部份和抛光混床部份。在有些半导体厂中,也有用“阴床10阳床”代替电去离子装置的,主要根据原水水质和产水水膜结构双向拉伸试验机质对弱电解质的要求而定,这里主要探讨经常使用的电去离子工艺。
1.1预处理部份
预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使SD≤4;组件破裂试验机去除游离氯等氧化性物资;去除部份有机物多功能摩擦试验机;下降LSI,避免碳酸盐结垢。
在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采取了&ldquo微机控制电液伺服试拉伸性能试验机验机;粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部份,主要缘由以下:
(I)传统的预处理进程中SDI值不好控制,1般>5,不利于后续的1级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1),能够有效地保单柱式电子万能试验机证1级反渗透系统的运行。
(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤钢筋试验机器+超滤装置”占地而积小,节俭了基建费用。
(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,超滤装置的更换比较方便。
(4)最近几年来,由于超滤技术的不断成熟,系统能够稳定安全地运行,而且超滤膜的价格也有了大幅度的下降,在1次性投资和运行保护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
1.2反渗透部份
在半导体行业中,反渗透部热封试验机份多采取双级反渗透工艺,以确保后续工艺的安全性。通过双级反渗透,WES1000D型电液式万能试验机可去除水中国足球协会超级联赛过99%的悬浮物、胶体,98%以上的溶解盐,大部份的微生物、TOC和部份CO2。
该半导体制造厂也采取双级反渗透工艺,同时将双级反渗透拆分成两个独立的部份,这样就更加有效地保证了卧式低温试验机系统的连续运行,即便在更换反渗透膜或在线清洗反渗透膜时,也不会造成全部工厂大而积的停水,确保了关键部位的连续用水。
该半导体厂采取在1级反渗透前增加SBS,MDC加药装置,保证了1级反渗透系统的安全运行;在1级反渗透和2级反渗透之间增加1套加碱装置,可提高2级反渗透系统的脱盐率。
1.3电去离子部份
对反渗透出水进行深度脱盐,终究产水的电阻率能>15。目前市场上比较经常使用的电去离子深度除盐装置模块有两种类型,分别为EDI模块和CEDI模块,两种模块的具体性能对照如表1所示。
电子拉伸试验机该半导体制造厂采取CEDI模块,同时将CEDI模块分成独立的两个轮胎耐久性试验机部份jz888盐雾试验机,在清洗CEDI模块或更换CEDI模块时可以分组进行,不会造成大而积的停水,确保了关键部位的连续用水。
1.4抛光混床部份
由于半导体制水泥防水涂料专用拉力试验机造行业对超纯水的水质要求很高,故在纯水箱后输送管道上增加抛光混床,可保证超纯水系统产水的稳定性和1致性川。实际利用中基本都是采取双级抛光混床。
2节能降耗
超纯水制造工艺从原水进水到产品水出水的回收率1般都<50%,极大地浪费了水资源,同时也增加了半导体制造单位的运行本钱。因此,优化超纯水处理工艺、节能减排非常重要电子数显弹簧拉压试验机。
以该半导体制造厂为例论述1下超纯水系统的节能减排措施。该超纯水系统触及到的排水主要有3个部份,分别为超滤反洗排水、1级RO浓水排水和CEDI浓水排水。笔者就不同类型的排水提出回收利用措施。
2.1超滤反洗排水
斟酌到该企业现有的风淋冷却系统的补水用量很大,为更好回收利用超滤反洗排水,该企业在室外建了1个废水搜集池,在搜集超滤反洗排水的同时还将系统内的零散流水(分析取样排水等)1同搜集,经沉降处理后,该部份水可用风格淋冷却系统的补水或用来灌溉绿地等。
2.21级RO浓夹抱力抗折抗压试验机水排水
1级RO高端万能材料试验机系统的水回收率1般不超过75%,因此其浓水排水量较头盔撞击试验机大,回收利用的价值较高,该废水的离子含量和可溶性物资含量较高,约为自来水的4滚动接触疲劳试验机倍。为此该钢绞线试验机企业在系统内设计1个搜集水箱,专门用来搜集1级RO浓水,浓水1部份直接用于浇灌绿地、冲洗厕所和擦地,1部份则进入RO回用装置,对此废水进行再次浓缩,RO回用装置产水进入超纯水系统的超滤产水辊筒磨耗试验机箱内,浓水排入污水处理系统。
2.3CEDI浓水排水
在该半导体制造厂的超纯水系统中,CEDI浓水直接回收至双级RO系统的中间水箱内而有些双级RO系统未设置中间水箱,但是斟酌到系统的安全性和CEDI浓水回收利用,增加中间水箱还是必要的。
最近几年来,超纯水利用技术获得了逾越式发展,重要标志是膜技术的广泛利用。膜技术用于超纯水处理工程,工艺简单、运行保护方便,同时增加终端抛光混床技术.超纯水的安全网贯穿试验机水质稳定可靠.遭到半导体行业的普遍认同。
同时,随着半导体行业产品本钱的不断紧缩,对超纯水工艺的水资源利用率要求也愈来愈高,在超纯水处理工艺中实行节能减排也顺应了现今社会发
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